技术参数
技术规格
材料 单晶硅
晶锭尺寸 125×125至210×210mm2，
晶砖长850mm或更长
晶圆尺寸 直径可达300 mm
电阻率范围 0.5 – 5 ohm cm。根据要求提供其他范围
导电类别 p/n
可测量的参数 寿命-μPCD/MDP（QSS）、光电导率、电阻率等
默认激光器 IR激光二极管（980 nm，最大500 mW）和IR激光二极管（905 nm，最大9000 mW）。
可根据要求提供其他波长
电力要求 100 – 250 V AC, 6 A
尺寸
(宽×高×长) 2560 × 1910 × 1440 mm
重量 约200kg
认证 根据ISO 9001准则制造，符合CE要求
