在线面扫和单点检测
MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元，可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测，每个晶圆的测量速度小于一秒。
电池生产线上的来料质量检查是最常用的一种应用方向，同样，钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。
还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成，只需要以太网连接和电源。
| 样品种类 | 多晶或单晶晶元片， 晶锭，晶胞 |
| 样品尺寸 | 大约50 x 50 mm² |
| 电阻率 | 0.2 - 10³ Ohm cm |
| 电导类型 | p, n |
| 材质 | 硅晶圆，部分或完全加工晶圆，化合物半导体等 |
| 测量属性 | 载流子的少子寿命 |
| 硬件接口 | ethernet |
| 大小 | 174 x 107 x 205 mm, 重量: 3 kg |
| 电源 | 24 V DC, 2 A |
