MDPinline ingot 晶锭在线面扫检测仪

性能

少数载流子寿命的检测能力Automated determination of cut off criteria 

优势

• 先进光伏晶圆厂多晶硅晶锭在线特性快速检测的世界记录。
• 在1分钟内完成分辨率大于1mm成像扫描测试，同时可完成电导类型转变的空间分布扫描和电阻率的
• 线扫描测试。客户定义的切割标准可以传输到晶圆厂数据库，该数据库允许对下一代光伏晶圆厂进行完全自动化的材料监控。
• 对炉料进行质量控制和炉况监测，并进行失效分析。特殊的“underneath the surface”测量技术大大减少了表面重组造成的数据失真。
  
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  Recognition of cracks, chunks etc. Automated cut criteria definition, lifetime map 
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• 技术参数
  

  样品	多晶硅晶锭
  样品尺寸	125 x 125到 210 x 210 mm²
  硅錠最大长度	600 mm
  电阻率	0.2 - 10³ Ohm cm
  电导类型	p, n
  材质	多晶硅
  检测性能	寿命(稳态或非平衡(μ-PCD)可选择的)，光电导性
  激发光源	980 nm （默认）
  测量时间取决于样品	例如1mm分辨率 156 x 156 mm², 300 mm：不到2分钟
  尺寸	2300 x 800 x 1200 mm, 重量：250 kg
  电源	110/220V, 50/60 Hz, 8 A

  
  其它细节
  • 全自动化
  • 晶锭图和线扫描

• 选项

  • 电阻率图 ，1 cm² 分辨率
  • p/n 等效图，1 mm² ­分辨率
  • 铁浓度分布图